এপিটাক্সিয়াল বৃদ্ধি কীভাবে কাজ করে?

সুচিপত্র:

এপিটাক্সিয়াল বৃদ্ধি কীভাবে কাজ করে?
এপিটাক্সিয়াল বৃদ্ধি কীভাবে কাজ করে?

ভিডিও: এপিটাক্সিয়াল বৃদ্ধি কীভাবে কাজ করে?

ভিডিও: এপিটাক্সিয়াল বৃদ্ধি কীভাবে কাজ করে?
ভিডিও: এপিটাক্সি 2024, মার্চ
Anonim

Epitaxy, অন্য স্ফটিকের উপরে একটি নির্দিষ্ট ওরিয়েন্টেশনের একটি স্ফটিক বৃদ্ধির প্রক্রিয়া, যেখানে অন্তর্নিহিত স্ফটিক দ্বারা স্থিতিবিন্যাস নির্ধারণ করা হয়। অর্ধপরিবাহী ওয়েফারে বিভিন্ন স্তরের সৃষ্টি, যেমন ইন্টিগ্রেটেড সার্কিটে ব্যবহৃত হয়, প্রক্রিয়াটির জন্য একটি সাধারণ প্রয়োগ।

এপিটাক্সিয়াল বৃদ্ধি কীভাবে অর্জন করা হয়?

পদ্ধতি। এপিটাক্সিয়াল সিলিকন সাধারণত বাষ্প-ফেজ এপিটাক্সি (VPE), রাসায়নিক বাষ্প জমার একটি পরিবর্তন ব্যবহার করে জন্মানো হয়। আণবিক-বিম এবং তরল-ফেজ এপিটাক্সি (এমবিই এবং এলপিই) প্রধানত যৌগিক অর্ধপরিবাহীগুলির জন্যও ব্যবহৃত হয়। সলিড-ফেজ এপিটাক্সি প্রাথমিকভাবে ক্রিস্টাল-ক্ষতি নিরাময়ের জন্য ব্যবহৃত হয়।

এপিটাক্সিয়াল বৃদ্ধির জন্য কোন গ্যাস ব্যবহার করা হয়?

এপিটাক্সিয়াল গ্রোথ সাইকেল চলাকালীন, প্রাক-পরিষ্কার করা GaAs ওয়েফারগুলি একটি উল্লম্ব কোয়ার্টজ চুল্লির চেম্বারে লোড করা হয় যেখানে মৌলিক তরল গ্যালিয়াম যার উপরে নির্জল এইচসিএল গ্যাস মিটার করা হয়, GaCl গঠন করছে 3.

এপিটাক্সিয়াল স্তরের ব্যবহার কী?

ফটোনিক ডিভাইস

ফোটনের দক্ষ নির্গমন বা সনাক্তকরণের জন্য, প্রায়শই এই প্রক্রিয়াগুলিকে খুব পাতলা অর্ধপরিবাহী স্তরগুলিতে সীমাবদ্ধ করা প্রয়োজন। বাল্ক সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফারের উপরে জন্মানো এই পাতলা স্তরগুলিকে এপিটাক্সিয়াল স্তর বলা হয় কারণ তাদের স্ফটিকতা সাবস্ট্রেটের সাথে মেলে যদিও…

এপিটাক্সিয়াল বৃদ্ধিতে কী কী প্যারামিটারগুলি নিয়ন্ত্রণ করতে হবে?

বৃদ্ধি প্রক্রিয়ার মধ্যে প্রধান পরামিতিগুলির অপ্টিমাইজেশন জড়িত, যেমন তাপমাত্রা, চাপ এবং গ্যাস প্রবাহ, সিলেক্টিভিটির সম্পূর্ণ নিয়ন্ত্রণ (যেমন ক্ষেত্রের এলাকায় পলিসিলিকন নিউক্লিয়েশন), সাইডওয়াল ফেসটিং, ডিফেক্ট জেনারেশন এবং অটোডপিং।

প্রস্তাবিত: